Wykonanie modelu obliczeniowego i kompletnego projektu wykonawczego reaktora ALD

Modelu obliczeniowy i projekt wykonawczy reaktora ALD 1. Przedmiotem zamówienia jest wykonanie modelu obliczeniowego i kompletnego projektu wykonawczego reaktora ALD. Model obliczeniowy i przeprowadzone symulacje muszą obejmować: - projekt 3D komory reaktora ALD, wraz z ekranami cieplnymi i elementami grzejnymi, przygotowany do eksportu do oprogramowania umożliwiającego przeprowadzanie symulacji cyfrowych przepływu ciepła i rozkładu temperatury, - analizę termiczną komory procesowej metodą el. skończonych w celu zoptymalizowania jednorodności rozkładu temperatury, - symulację jednorodności rozkładu temperatury z dokładnością lepszą niż 5 C, - symulację MES wytrzymałości, naprężeń i odkształceń komory próżniowej, - optymalizację rozkładu stref grzania oraz dostarczanej mocy, optymalizację rozmieszczenia czujników temperatury w sprzężeniu zwrotnym sterowania pracą grzałek, - symulację radiacyjnej wymiany ciepła przy niskim ciśnieniu (próżnią) podczas procesu nanoszenia warstw metodą ALD. Symulacje będą uwzględniać załadunek pokrywanych tafli szkła wstępnie nagrzanych i zimnych w celu zbadania wpływu wstępnego nagrzania tafli na czas procesu, - analizę oczekiwanych cech pomp względem: odporności chem. na pompowane prekursory, wydajności pompowania przy wymaganym podciśnieniu procesowym oraz szybkości osiągania próżni wstępnej. Z przeprowadzonego modelowania i symulacji Wykonawca przedstawi Zamawiającemu raport. Dokumentacja projektu musi zawierać: - projekt kompletnej komory reakcyjnej (jeżeli wybrano wariant z komorami: wewnętrzną i zewnętrzną to projekt dotyczy obydwu komór), - projekt instalacji utrzymania zadanej temperatury, - projekt instalacji zasilania prekursorami, - projekt instalacji dostarczania azotu jako gazu płuczącego instalację dozowania prekursorów oraz oczyszczania przestrzeni z wsadem w komorze procesowej przed kolejną osadzaną warstwą, - projekt systemu automatyki zarządzającej prowadzeniem procesu ALD oraz umożliwiającej skalowanie parametrów procesu ALD, - dobór materiałów i uszczelnień na przewody doprowadzające prekursory do komory próżniowej i wewnątrz do komory procesowej, - dobór przetworników ciśnienia dla par prekursorów, - dobór filtrów dostosowanych do pompowanych związków oraz przepływów, - lista BOM umożliwiająca wycenę i możliwość dostawy elementów składowych. Zakładane parametry komory (reaktora ALD): - geometria: komora reakcyjna prostopadłościenna o wymiarach wewnętrznych 500 x 1000 x 1000 mm, - geometria: komora reakcyjna dzielona na 2 niezależnie pracujące części przy czym dostarczanie podłoży do obydwu części komory może się odbywać poprzez wspólną śluzę, - ciśnienie: wymagane ciśnienie robocze 200 mTor uzyskiwane w czasie nie mniejszym niż 10 s, - temperatura: niezależny dla podzielonych komór system podgrzewania do 350 C, - temperatura: niezależny dla podzielonych komór system chłodzenia do 20 C, - temperatura: system wstępnego podgrzewania podłoży przed rozpoczęciem procesu ALD, - temperatura: przynajmniej jedna linia prekursorowa powinna mieć możliwość podgrzewania do temperatury 350 C, - dozowanie: system dozowania 6 prekursorów w 3 niezależnych przewodach, do 2 części komory, - dozowanie: system wytwarzania i dozowania azotu do przepłukiwania komory, - dozowanie: system ochrony pompy próżniowej przed zanieczyszczeniem prekursorami. Szczegółowe wytyczne dotyczące konstrukcji reaktora znajdują się dodatkowo w załączniku nr 2 do niniejszego zapytania ofertowego. 2. W celu otrzymania „Szczegółowych wytycznych dotyczących konstrukcji reaktora” stanowiącego załącznik nr 2 do zapytania ofertowego, Oferent zobowiązany jest dostarczyć (mailowo na adres przetarg@vitroform.pl lub osobiście, pocztą lub kurierem), podpisane przez osobę uprawnioną do reprezentowania Oferenta oświadczenie stanowiące załącznik nr 3 do zapytania ofertowego „Oświadczenie dopuszczające do informacji poufnych Zamawiającego”. Zamawiający udostępni dokumentację maksymalnie następnego dnia roboczego licząc od daty wpływu do Zamawiającego prawidłowo wypełnionego załącznika nr 3. Wykonawca zobowiązany będzie również do udziału w demonstracji modelu symulacyjnego we współpracy z Zamawiającym. 3. Zamawiający nie dopuszcza możliwości składania ofert częściowych. 4. Mogące wystąpić w zapytaniu ofertowym oraz jego załącznikach nazwy własne (znaki towarowe) mają charakter przykładowy, a ich wskazanie ma na celu określenie oczekiwanego standardu, przy czym Zamawiający dopuszcza składanie „ofert równoważnych". Przez „ofertę równoważną" należy rozumieć taką, która przedstawia opis przedmiotu zamówienia o takich samych lub lepszych parametrach technicznych, jakościowych, funkcjonalnych spełniających minimalne parametry określone przez Zamawiającego, lecz oznaczoną innym znakiem towarowym, patentem lub pochodzeniem. Harmonogram realizacji zamówienia: Zamówienie będzie realizowane w terminie maksymalnie 4 miesięcy od daty podpisania umowy na realizację zamówienia. Nieterminowa realizacja przedmiotu zamówienia będzie obwarowana naliczeniem kar umownych.